• extreme ultraviolet (aşırı morötesi) teriminin kısaltmasıdır. çok kısa dalga boyuna sahip bir elektromanyetik radyasyon türüdür. yarı iletken üretimi ve litografi başta olmak üzere çeşitli sektörlerde kullanılır.

    yarı iletken üretiminde euv, silikon levhaların* yüzeyini kazımak/aşındırmak için kullanılır. sistemin çalışma mantığı en basit anlatımla fotoğraf makinesine benzer. fotoğraf makinesinde ışık bir fotoğraf filmini aşındırırken litografide ışığın yerini euv, filmin yerini de silikon levha alır. kazınmak istenen desen* bir nişangaha* işlenir ve bu nişangahtan geçen euv, deseni silikon levha üzerine kazır. daha sonra bunlar mikroçipler oluşturmak üzere kullanılır.

    euv radyasyonu, malzemelerin elektronik yapıları ve kimyasal bileşimleri gibi özelliklerini incelemek için spektroskopide de kullanılır. euv radyasyonu, sahip olduğu çok kısa dalga boyuna sebebiyle maddenin özellikleri hakkında çok küçük ölçekte ayrıntılı bilgi sağlayabilir.

    (bkz: #150118668)
hesabın var mı? giriş yap